MODEL | RTAC2022 | ||
MATERIAŁ | Stal nierdzewna (S304) | ||
ROZMIAR KOMORY | Φ2000 * 2200 mm (wys.) | ||
SYSTEM POMPY | Obrotowa tłokowa pompa próżniowa (mechaniczna) | ||
Rotacyjna łopatkowa pompa próżniowa (trzymająca) | |||
Roots Pump Vacuum | |||
Pompa dyfuzyjna | |||
TECHNOLOGIA | Ion Plating (źródła z wieloma łukami) | ||
TYPOWE CELE | Tytan, chrom, Zr, Cu, Al itp. | ||
GAZ | Przepływomierze masowe gazu (Ar, N2,) (Argon, azot) | ||
KONTROLA | PLC (programowalny sterownik logiczny) | ||
SYSTEM BEZPIECZEŃSTWA | Liczne blokady bezpieczeństwa w celu ochrony operatorów i sprzętu | ||
CHŁODZENIE | woda | ||
OGRZEWANIE | Podgrzewacz | ||
POWER MAX. | 150 KW (w przybliżeniu) | ||
ŚREDNIA MOC KONSUMPCJA | 70 KW (w przybliżeniu) |
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology ma zaszczyt zaoferować kompleksowe rozwiązania w zakresie powłok.