Maszyna do rozpylania magnetronowego Ni Pvd Stabilny system metalizacji próżniowej Cr

Instalacja do napylania napylania Ni PVD, system metalizacji próżniowej Cr, sprzęt do powlekania próżniowego Sn / Ag, instalacja do powlekania miedzią

Struktura wyposażenia:

Maszyna RTAC1215-SP jest urządzeniem typu ósemkowego, które składa się z pomp próżniowych, komory próżniowej, w której zamontowano 8 katod łukowych, 1 liniowe źródło jonów, 2 zestawy katod do napylania DC i 1 parę katod do napylania MF.Źródło jonów, napylane katody zamontowane na kołnierzach są standaryzowane, które można elastycznie wymieniać w zależności od rzeczywistego zapotrzebowania na proces powlekania.

Aplikacje:

1. Przemysł DPC dla ceramicznych części uszczelniających, proces DPC, miedziany system rozpylania PVD, ceramiczne chipy LED z miedzianą powłoką, Al₂O₃, Płytki z obwodami ceramicznymi AlN, płytki Al2O3 na diodach LED, półprzewodniki

2. Folie metalowe ze srebra, Ni, chromu, złota, aluminium, In, Sn itp. oraz TiN, TiAlN, TiC, TiO, CrC, CrCN, CrN itp.

Zalety:

1. Ekonomiczna produkcja

2. Humanizacja stanowiska pracy (ergonomiczny projekt stanowiska pracy, minimalizacja przestrzeni, hałasu i niebezpieczeństwa wypadku)

3. Wysoka jakość plonów.

4. Silna przyczepność z potężnym urządzeniem grzewczym i czyszczeniem źródła plazmy;

5. Kompaktowa konstrukcja i łatwy dostęp do prac modernizacyjnych i konserwacyjnych.

6. Pełna automatyzacja, PLC + ekran dotykowy, system sterowania jednym dotknięciem.

7. Wysoka wydajność przy mniejszym zużyciu energii, max.50% oszczędności kosztów produkcji.

Specyfikacja techniczna:

• Wydajność

1. Ostateczne ciśnienie podciśnienia: lepsze niż 9,0*10^-5Rocznie;

• Podstawowe ciśnienie próżniowe: 3,0*10^-2Rocznie

3. Czas odpompowania: od bankomatu do 1,0×10^-3Pa≤15 minut (temperatura pokojowa, sucha, czysta i pusta komora)

4. Źródło osadzania: katody rozpylania magnetronowego Gencoa, sterowane katody łukowe, źródło jonów

5. Model operacyjny: w pełni automatycznie/półautomatycznie/ręcznie

6. Ogrzewanie: od temperatury pokojowej do max.500℃,

9. Źródło jonów dla procesu PECVD i PA PVD.

• Struktura

Maszyna do powlekania próżniowego zawiera kluczowy kompletny system wymieniony poniżej:

1. Komora próżniowa
1.1 Rozmiar: średnica wewnętrzna: 1200mm

Wysokość wewnętrzna: 1500 mm

1.2 Materiał: komora próżniowa SUS304

Drzwi i kołnierze SUS304

Konstrukcja wzmacniająca komorę: stal miękka SS41, z malowaną powierzchnią wykończeniową.

Obudowa komorowa ze stali miękkiej SS41 z malowaną powierzchnią wykończeniową.

1.3 Osłona komory: SUS304

1.4 Okno widoku: 2 na drzwiach

1.5 Zawór odpowietrzający komory próżniowej (w tym tłumik)

1.6 Drzwi: materiał SUS304

2. Zgrubny system pompowania próżniowego:
Obrotowa łopatkowa pompa próżniowa oleju + pompa utrzymująca

• System pompowania wysokiego podciśnienia:

Pompa molekularna z zawieszeniem magnetycznym - 2 zestawy

4. Elektryczny system sterowania i obsługi- System operacyjny PLC+ z ekranem dotykowym:

Dostawcy:

PLC: Mitsubishi + ekran dotykowy (wyprodukowany w chinach)

Podzespoły elektroniczne: SCHNEIDER,OMRON.

System ochrony bezpieczeństwa:Liczne blokady bezpieczeństwa chroniące operatorów i sprzęt (woda, prąd gazowy, temperatura itp.)

System procesów powlekania: Automatyzacja i kontrola procesów.

4.1 Obwód główny: wyłącznik bezbezpiecznikowy, wyłącznik elektromagnetyczny, C/T w układzie szeregowym

4.2 Zasilanie: Moc rozpylania DC/MF + Moc łuku DC + Zasilanie polaryzacji

4.3 System kontroli osadzania

4.4 System operacyjny: ekran dotykowy + PLC, kontrola receptur i rejestracja danych, automatyczne wyłączanie, automatyczne opróżnianie, automatyczne powlekanie

4.5 System pomiarowy

Ciśnienie podciśnienia: wakuometr: Pirani + manometr Penninga + manometr pełnego zakresu - marka europejska

Urządzenie do pomiaru temperatury: termopara
MFC: kontroler przepływu masowego (4 sposoby),

4.6 System alarmowy: ciśnienie sprężonego powietrza, przepływ wody chłodzącej, nieprawidłowe działanie

4.7 Wskaźnik obciążenia mocy: Wskaźnik napięcia i wskaźnik prądu obciążenia

5.System osadzania

5.1 Źródło osadzania: katody rozpylające + źródła łuku + źródło jonów

5.2 Materiał do osadzania: miedź, aluminium, chrom, srebro, złoto, SS, tytan itp.

6.Podsystem

6.1 System sterowania zaworem sprężonego powietrza

6.2 System wody chłodzącej: rura przepływu wody i system zaworu przełączającego

• Środowisko pracy

Sprężone powietrze: 5 ~ 8 kg / cm2

Woda chłodząca: Temperatura wody: 20 ~ 25 ℃, 200 litrów / min,
Ciśnienie wody: 2~3 kg/cm2,

Moc: 3 fazy 380V 50Hz(60Hz), 130kVA, średni pobór mocy: 60KW

Obszar instalacji: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950 mm

Wydech: Odpowietrznik do pomp mechanicznych

Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej specyfikacji, Royal Technology wspiera Cię w zakresie kompleksowych rozwiązań w zakresie powłok.